多级真空发生器结构

真空发生器的工作原理是利用喷管高速喷射压缩空气,在喷管出口形成射流,产生卷吸流动.在卷吸作用下,使得喷管出口周围的空气不断地被抽吸走,使吸附腔内的压力降至大气压以下,形成一定真空度。真空发生器分单级真空发生器和多级真空发生器两类，在消耗相同压缩空气的条件下，多级真空发生器在标准大气下的真空抽气量一般是单级真空发生器的好几倍，因此，多级真空发生器是真正高效率的气动真空泵

但是，由于其体积增的罗茨泵和1台抽速为70L/s的旋片泵组成，由它完成对SFC高、低真空室从大气到70Pa的粗抽，也要完成对SFc 高真空室单独抽至10Pa。高真空系统由2台抽速为1500L/s 的涡轮分子泵和1台抽速150L/s的罗茨泵机组组成。超高真空系统由2台抽速为20000L/s的/HIRFL-800低温泵和1台抽速10000L/S的低温泵组成。分子泵与低温泵共同安装在一个泵室中，分子泵与低温泵之间以及泵室与真空室之间分别由直径为250mm和630mm 的超高真空阀门隔开。从大气抽至10Pa，大约需要20min。从10Pa到E-3Pa 由高真空系统的分子泵完成，约需要2h。当真空度优于3e-3Pa 时，低温泵开始工作。低温泵工作10h后，在SFC真空室中心平面上可以获得1.3E-5Pa的真空。

真空室从安装到完成测磁工作，历时6 个多月。真空室长时间暴露于大气之中，这样对要想获得1.3E-5Pa的真空度是较难的。最好的办法就是烘烤。但由于真空室安装后，与磁铁、高频腔部件、注入引出元件、束诊元件等都连接在一起，再加上真空室形状复杂，所以用常规的加热带、烘烤灯等方法来加热，因受条件限制而无法实行。进行分析后，决定采用热水循环加热的方法，对真空室内部的线圈、覆面等那些在加速器运行时需要用冷却水的部件，在抽空时先用热水循环，进行烘烤。

经过计算，这部分部件在真空室中的表面积，要占整个真空室内表面积的75%。加工了一套热水循环系统，考虑到线圈是环氧浇铸，水温应控制在80度左右。经过10h热水循环烘烤后，真空度从10E-5Pa进入到10E-6Pa，证明了这种烘烤方法是可行的。